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高純四氯化硅為無色透明液體,純度稍低的呈現微黃或者淡黃色,有窒息性氣味。常溫常壓下密度1、48,熔點-70℃,沸點57、6℃,沸點隨著壓力增高而增高。
在潮濕空氣中水解而成硅酸和氯化氫。遇水時水解作用很激烈,也能和醇類起激烈反應。溶于四氯化碳、四氯化鈦、四氯化錫。對皮膚有腐蝕性。用于制硅酸酯類、有機硅單體、有機硅油、高溫絕緣漆、硅樹脂、硅橡膠等,也用作煙幕劑。
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