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1、多晶硅,是熔融的單質硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結合起來,就結晶成多晶硅;
2、單晶硅,硅的單晶體,具有基本完整的點陣結構的晶體,不同的方向具有不同的性質,是一種良好的半導材料;
3、低溫硅,是指硅烷在低溫下由分解反應形成的單質硅,其與多晶硅的原子排列形式不同,又稱為無定形硅。
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